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7 月 6 日,中国计量科学研究院宣布,我国首套高精度圆度基准装置已经成功研制并投入使用。

该装置的建成标志着中国在精密圆度测量技术领域取得了重大突破,整体技术实力已达到国际领先水平。

圆度作为几何量形位公差体系中的一项关键基础参数,其测量精度直接影响到精密主轴、先进光学元件以及半导体芯片等高端制造产品的性能和装配质量。

此前,中国虽然在平面度等几何量计量方面建立了国家级基准,但在圆度量值溯源方面一直存在国家级源头缺失的问题,这已成为制约高端装备自主研发和产业高质量发展的瓶颈之一。

此次新装置的成功研制,填补了国内在圆度基准方面的空白。它将为航空航天、高端机床、先进光学和半导体制造等国家战略性产业提供高精度、高可靠性的量值溯源支持。这不仅完善了国家几何量计量体系,也为建设制造强国和质量强国奠定了基础。

在技术方面,该装置整合了多项自主创新技术,成功克服了高精度圆度评定、主轴误差分离以及滤波一致性控制等国际公认的技术难题。

装置采用了创新的圆度计算模型,该模型基于高精度圆度滤波和全面的数据利用,有效解决了标准半球分离后轮廓重构的稳定性问题。同时,中国自主研发的新型误差分离技术显著降低了主轴回转误差的影响,将圆度测量的不确定度从 20 纳米降低至 6 纳米,测量能力达到了国际先进水平。这一成果意味着中国已在多项高精度圆度测量核心关键技术上实现了自主可控,打破了长期以来国外在相关技术上的垄断。